光学轮廓仪的计量校准标准
作者: 深圳华检标准技术服务有限公司发表时间:2021-05-26 15:53:32浏览量:538【小中大】
ZYGO 3D 白光干涉轮廓仪,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌。ZYGO 3D光学轮廓仪需要进行一系列校准标定流程,才能确保亚纳米的最优测试精度。
ZYGO 3D 白光干涉轮廓仪,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌。ZYGO 3D光学轮廓仪需要进行一系列计量校准标定流程,才能确保亚纳米的最优测试精度。
为了能精准地表征表面形貌,严格来说,ZYGO 3D光学轮廓仪需要进行一系列
计量校准标定流程,包括:
3D Calibration (3维形貌校准)。
这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关,所以称为3维校准。
主要包括,对干涉物镜参考面形貌误差的标定;以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。
2D Calibration (2维光强校准)。
这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。
ZYGO光学轮廓仪有一些功能,可以增强用户对样品表面观察效果。比如fringe free观测模式下,可以自动去除视场中黑白条纹,更清楚地观测表面纹理;ture color真彩色模式,可以复现表面彩色信息。
由于以上功能相关标定都只涉及“光强”,不涉及到形貌高度,所以称为2D Calibration (2维光强校准)。
Lateral Calibration (横向校准)。
这一
计量校准是为了标定在当前设置下,每个像素在横向上代表的尺寸大小。
光学轮廓仪的很多测试结果和分析设置,如沟槽宽度,孔径尺寸,坡度斜率,空间滤波,拼接测量,都基于或和横向尺寸相关。对于这些结果和分析,横向尺寸的标定是至关重要的。
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