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光学轮廓仪的计量校准标准

作者: 深圳华检标准技术服务有限公司发表时间:2021-05-26 15:53:32浏览量:44

ZYGO 3D 白光干涉轮廓仪,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌。ZYGO 3D光学轮廓仪需要进行一系列校准标定流程,才能确保亚纳米的最优测试精度。

          ZYGO 3D 白光干涉轮廓仪,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌。ZYGO 3D光学轮廓仪需要进行一系列计量校准标定流程,才能确保亚纳米的最优测试精度。




         为了能精准地表征表面形貌,严格来说,ZYGO 3D光学轮廓仪需要进行一系列计量校准标定流程,包括:


        3D Calibration (3维形貌校准)。


         这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关,所以称为3维校准。


        主要包括,对干涉物镜参考面形貌误差的标定;以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。


        2D Calibration (2维光强校准)。

          这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。


         ZYGO光学轮廓仪有一些功能,可以增强用户对样品表面观察效果。比如fringe free观测模式下,可以自动去除视场中黑白条纹,更清楚地观测表面纹理;ture color真彩色模式,可以复现表面彩色信息。


        由于以上功能相关标定都只涉及“光强”,不涉及到形貌高度,所以称为2D Calibration (2维光强校准)。


        Lateral Calibration (横向校准)。


        这一计量校准是为了标定在当前设置下,每个像素在横向上代表的尺寸大小。


        光学轮廓仪的很多测试结果和分析设置,如沟槽宽度,孔径尺寸,坡度斜率,空间滤波,拼接测量,都基于或和横向尺寸相关。对于这些结果和分析,横向尺寸的标定是至关重要的。


        深圳华检标准技术服务有限公司是一家集技术研发、CMA认证、CNAS认可、计量校准、计量仪器校准、设备计量校准、第三方计量校准培训咨询于一体的专业计量校准机构。目前,深圳华检标准技术服务有限公司已通过中国合格评定国家认可委员会的认可,得到与CNAS签署多边互认协议国家和地区实验室认可机构承认,所出具的证书、报告均获得国际实验室认可合作组织签署的多边互认协议(ILAC-MRA)。服务网络覆盖全国,服务品质获得客户认可。

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