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由于各方不同，各国制造商和测量标准部门提出了几种CMM的测量标准。在各国的标准中，推荐的标准并不完全相同，可以根据测量目的和要求进行选择。

坐标测量机的校准使用多种标准。在周期校准中，常用的标准有双屏激光干涉仪、量块、步距规等。中间检验常用的标准装置有量块、台阶规、球板、孔板、标准球、球棒、环规、三维标准装置等。下面介绍常用的标准设备。

一.量块

仪器量块是校准三坐标测量机示值误差的常用物理标准。其优点是适用范围广，安装操作简单，溯源性强，准确度高。缺点是测量时间长，测量长度只有1m。

测量块数时，需要将选定的不同长度的块数安装在专用支架上，使块数的方向与被测轴之间的方向一致或空。专用支架上有可调节的支撑点。安装量块时，应注意在两端0.2113L(L为量块长度)的支撑位置支撑量块，以确保量块的两个测量面相互平行。

测量结果中应引入标准量块的修正和温度偏离20℃时的温度修正。

二、球板

该标准引入了球形板作为评估长度测量不确定度的可选工具。其优点是操作简单，速度快，可追溯性强。球板是二维标准，可以获得比一维标准更丰富的信息。比如测量25个球的球板，可以得到300个长度测量值，测量25个球的球板的两个相交位置，可以得到600个测量数据。坐标测量机的所有几何参数都可以通过测量球心距离来计算。球盘的标定方法并不复杂，但标定的不确定度比量块差，球盘的大小长度尺寸有限。球面平板是精度不高的中小型坐标测量机的可选标准。

使用球板作为标准装置是通过计算两点间的距离来校准长度测量的示值误差。

常用的球板有5排5列，240mmx240mm，332mmx332mm，532mm。球可以做成1mx1m，17排17列的标准球。球板为钢制，标准球为陶瓷，采用液氮冷却技术夹紧固定。标准球可以在球板的两面检测到。

第三，双频激光干涉仪

校准双频激光干涉仪是一种高精度便携式干涉测量仪器。由于其抗干扰能力强，结构紧凑，信号稳定，不仅可以在实验室条件下使用，也可以在车间现场使用，测量长度可达十几米甚至几十米。此外，它还被广泛使用。除测量长度外，还可用于测量直线度、小角度、平面度、速度和平行度，还可用于校准三坐标测量机在三个运动方向的垂直度等。是精密机械、造船、飞机制造中大型精密测量不可缺少的精密仪器，技术相当成熟。

双频激光干涉仪的特点是测量精度高，仪器固有系统误差仅为0.1 μm(L为测量长度，单位为m)，测量范围广，测量数据丰富，适用于测量三坐标测量机的几何误差。但设备价格昂贵，需要专用设备，技术性强，对操作人员要求高，耗时长，不能直接溯源测量任务，比较适合CMM的出厂验收检验和大型CMM示值误差的附加校准。

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